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| LEADER |
00582nam a22001571cb4500 |
| 001 |
a0121613+242483+e0028787 |
| 008 |
240109s1982 gw ger d |
| 005 |
20240109131630.0 |
| 035 |
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|a a0121613
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Chemische Dampfablagerung
|n 242483+e0028787
|p [hier Ident+Zugangsnummern aus dem allegro-Exemplardatensatz]
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| 264 |
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1 |
|a Berlin :
|b Akademie-Verlag,
|c 1982
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| 830 |
1 |
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|a Chemische Dampfablagerung
|w a0121613
|
| 700 |
1 |
|
|a Arnold,Heinrich
|4 aut
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| 490 |
1 |
|
|a Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
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| 773 |
0 |
8 |
|w a0121613
|c 242483+e0028787
|
| 099 |
1 |
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|a 20240109
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