Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| VerfasserIn: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
|
| Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
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| 245 | 1 | 0 | |a Chemische Dampfablagerung |b CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik |
| 264 | 1 | |a Berlin : |b Akademie-Verlag, |c 1982 | |
| 300 | |a X,158 Seiten : graphische Darstellungen | ||
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