Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Prif Awdur: | |
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| Fformat: | Llyfr |
| Iaith: | German |
| Cyhoeddwyd: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Cynnwys/darnau: | 1 o gofnodion |
| Disgrifiad Corfforoll: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Rhif Galw: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |