Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | German |
| Publicado: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Contenido/piezas: | Registros 1 |
| Descripción Física: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Número de Clasificación: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |